Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel The twin epipoly process : a foundry process flow for a microfluidic application kit in silicon/glass / Tjalf Pirk
Person(en) Pirk, Tjalf (Mitwirkender)
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format VIII, 155 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm, 284 gr.
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: The Twin Epipoly Process
Hochschulschrift Zugl.: Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2008
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-7644-7 kart. : EUR 48.80 (DE), EUR 48.80 (AT), sfr 97.60 (freier Pr.)
EAN 9783832276447
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Microfluidics & nanofluidics ; Bd. 4
Schlagwörter Mikrofluidik ; Glas ; Silicium ; Polykristall ; Epitaxieschicht ; Prozesssteuerung
DDC-Notation 629.8042 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2008 A 93917
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2008 A 119162
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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