Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Personen
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Person Polster, Tobias
Akademischer Grad Dr.-Ing.
Geschlecht männlich
Zeit Lebensdaten: 1981-
Land Deutschland (XA-DE)
Geografischer Bezug Geburtsort: Suhl
Beruf(e) Ingenieur
Weitere Angaben Diss. Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Mikromechanische Systeme
Typ Person (piz)
Autor von 1 Publikation
  1. Aluminiumnitrid Dünnschichtmembranen - Charakterisierung und technologische Integration in den MEMS-Prozessfluss
    Polster, Tobias. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2014

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