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Personen
Link zu diesem Datensatz http://d-nb.info/gnd/130671703
Person Arnold, Thomas
Andere Namen Arnold, Ulrich Thomas
Zeit Lebensdaten: 1975-
Beruf(e) Physiker
Typ Person (piz)
Autor von 1 Publikation
  1. Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet
    Arnold, Thomas. - Berlin : Mensch-und-Buch-Verl., 2005





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