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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4151897-4
Sachbegriff Elektronenstrahllithografie
Quelle M/Nachtr. unter Lithographie
Synonyme Elektronenstrahllithographie
Electron beam lithography
Oberbegriffe Lithografie <Halbleitertechnologie>
DDC-Notation 621.381531
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Lithography, Electron beam
RAMEAU: Lithographie par faisceau d'électrons
Thema in 59 Publikationen
  1. Characterization and optimization of nanoscale magnetometric diamond sensors
    Widmann, Claudia Johanna. - Stuttgart : Fraunhofer Verlag, [2017]
  2. In-situ Kathodolumineszenzlithographie zur Herstellung deterministischer Quantenbauelemente
    Gschrey, Manuel. - Berlin : Technische Universität Berlin, 2015
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 4 Publikationen
  1. Experimentelle Untersuchungen der magnetischen und elektronischen Eigenschaften von LaAlO3/SrTiO3-Heterostrukturen
    Wittlich, Pascal. - Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2021
  2. Deterministisch integrierte Quantenpunkt-Wellenleiter-Halbleiterbauelemente
    Schnauber, Peter Felix. - Berlin : Technische Universität Berlin, 2020
  3. ...





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