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Sachbegriffe
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Sachbegriff Sputtern
Quelle - Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung
Erläuterungen Verwendungshinweis: Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
Synonyme Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung
Ionstrahlsputtern
Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern
Sputterdeposition
Oberbegriffe Zerstäubung
PVD-Verfahren
DDC-Notation 530.416
667.9
Systematik 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Sputtering (Physics)
RAMEAU: Pulvérisation cathodique
Untergeordnet 4 Datensätze
  1. Gasflusssputtern
    Sputtern
  2. Hochfrequenzsputtern
    Sputtern
  3. ...
Thema in 159 Publikationen
  1. Potenzial der High-Speed Physical Vapour Deposition Technologie zur Abscheidung oxidischer Werkzeugbeschichtungen
    Welters, Martin. - Düren : Shaker, 2021, 1. Auflage
  2. Development and characterization of piezoelectric AlScN-based alloys for electroacoustic applications
    Lu, Yuan. - Freiburg : Universität, 2019
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 25 Publikationen
  1. Struktur und Eigenschaften von gesputterten a-C:H:Nb-Schichten für piezoresistive Sensoren
    Grein, Maria. - Braunschweig : Technische Universität Braunschweig, 2021
  2. Untersuchung von Ansätzen zur Optimierung des Beschichtungspfades beim Ionenstrahlsputtern eines Substrats mit räumlichem Tiefenprofil
    Ullmann, Florian. - Chemnitz : Technische Universität Chemnitz, 2021
  3. ...





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