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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4240927-5
Sachbegriff Laserlithografie
Quelle M/Nachtr. unter Lithographie
Synonyme Laserlithographie
Laserstrahllithographie
Laserstrahllithografie
Oberbegriffe Lithografie <Halbleitertechnologie>
DDC-Notation 537.6221
621.38152
Systematik 21.3 Elektrizität, Magnetismus, Optik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Thema in 20 Publikationen
  1. Simulation, Herstellung und Charakterisierung von integrierten optischen Wellenlängendemultiplexern auf Polymerbasis mittels Laserdirektlithographie
    Pichler, Elke. - Clausthal-Zellerfeld : Technische Universität Clausthal, 2022
  2. Simulation, Herstellung und Charakterisierung von integrierten optischen Wellenlängendemultiplexern auf Polymerbasis mittels Laserdirektlithographie
    Pichler, Elke. - Clausthal-Zellerfeld : Papierflieger Verlag, 2021, 1. Auflage
  3. ...





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