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Sachbegriffe
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Sachbegriff MOCVD-Verfahren
Quelle Lex. Elektronik Mikroelektronik unter Schichtabscheidung
Synonyme Metallorganic CVD
Metal organic CVD
MOVPE
OMCVD
Oberbegriffe CVD-Verfahren
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.8a Fertigungstechnik
Andere Normdaten LCSH: Metal organic chemical vapor deposition
RAMEAU: Dépôt en phase vapeur par organométalliques
Thema in 243 Publikationen
  1. Aluminium scandium nitride grown by metalorganic chemical vapour deposition
    Ligl, Jana. - Freiburg : Universität, 2021
  2. Entwicklung von optisch pumpbaren UVC-Lasern auf AIGaN-Basis
    Jeschke, Jörg. - Göttingen : Cuvillier Verlag, 2018, 1. Auflage
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 13 Publikationen
  1. Beiträge zur Chemie flüchtiger Metallverbindungen für die chemische Gasphasenabscheidung: Hydrazin-basierte N-Donor-Liganden und neue Synthesestrategien
    Pulz, Susanne Elisa. - Marburg : Philipps-Universität Marburg, 2021
  2. Untersuchungen zu AlBGaN Hetero-Strukturen für UV-LED Anwendungen
    Rettig, Oliver. - Ulm : Universität Ulm, 2021
  3. ...





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