Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: nid=4314628-4
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/4314628-4 |
Sachbegriff | MOCVD-Verfahren |
Quelle | Lex. Elektronik Mikroelektronik unter Schichtabscheidung |
Synonyme |
Metallorganic CVD Metal organic CVD MOVPE OMCVD |
Oberbegriffe | CVD-Verfahren |
DDC-Notation | 671.735 |
Systematik | 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.8a Fertigungstechnik |
Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
Andere Normdaten |
LCSH: Metal organic chemical vapor deposition RAMEAU: Dépôt en phase vapeur par organométalliques |
Thema in |
251 Publikationen
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Maschinell verknüpft mit |
52 Publikationen
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