Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: nid=7712127-2
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/gnd/7712127-2 |
Sachbegriff | Atomlagenabscheidung |
Quelle | Wikipedia |
Synonyme |
ALD <Mikroelektronik> Atomschichtepitaxie Atomic layer deposition Atomic layer epitaxy |
Oberbegriffe | CVD-Verfahren |
DDC-Notation | 671.735 |
Systematik | 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik |
Typ | Allgemeinbegriff (saz) |
Andere Normdaten | LCSH: Atomic layer deposition |
Thema in |
40 Publikationen
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Maschinell verknüpft mit |
34 Publikationen
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