Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten 13. bis 20. Januar 2020: Die Ausstellungen des Deutschen Buch- und Schriftmuseums der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig sind wegen Wartungsarbeiten geschlossen. // Due to maintenance work the exhibitions of the German Museum of Books and Writing of the German National Library in Leipzig will be closed from 13 to 20 January.
 
 

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Sachbegriffe
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Sachbegriff Sputtern
Quelle - Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung
Erläuterungen Verwendungshinweis: Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
Synonyme Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung
Ionstrahlsputtern
Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern
Sputterdeposition
Oberbegriffe Zerstäubung
PVD-Verfahren
DDC-Notation 530.416
667.9
Systematik 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Andere Normdaten LCSH: Sputtering (Physics)
RAMEAU: Pulvérisation cathodique
Untergeordnet 4 Datensätze
  1. Gasflusssputtern
    Sputtern
  2. Hochfrequenzsputtern
    Sputtern
  3. ...
Thema in 157 Publikationen
  1. Development and characterization of piezoelectric AlScN-based alloys for electroacoustic applications
    Lu, Yuan. - Freiburg : Universität, 2019
  2. Entwicklung einer osseointegrativen Oberfläche für Kunststoffimplantate
    König, Markus. - Düren : Shaker Verlag, [2019]
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 17 Publikationen
  1. Semihydrierung von Acetylen an intermetallischen Verbindungen im mikrostrukturierten Reaktor
    Zimmermann, René Robert. - Dresden, [2018?]
  2. Charakterisierung gradierter Eisen/Wolfram-Schichten für die erste Wand von Fusionsreaktoren
    Heuer, Simon. - Bochum : Ruhr-Universität Bochum, 2017
  3. ...





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