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	1	High-resolution coherence scanning immersion interferometry for characterization of sub-micrometer surface structures Enthalten in Technisches Messen Bd. 92, 2025, Nr. 5: 168-178. 11 S.
	2	State-of-the-Art Materials Used in MEMS Micromirror Arrays for Photonic Applications Liu, Shujie. - Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2024
	3	A novel approach to construct self-assembled 3D MEMS arrays Akhundzada, Sapida. - Freiburg : Universität, 2023
	4	Tailoring Phospholes for Imprint of Fluorescent 3D Structures Enthalten in European journal of inorganic chemistry Bd. 2019, 2019, Nr. 45: 4820-4825. 6 S.
	5	Soft UV nanoimprint lithography : concept, development, and fabrication of nanostructures with tunable feature sizes at constant pitch Si, Shuhao. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2018
	6	Fabrication and characterization of multi-stopband Fabry–Pérot filter array for nanospectrometers in the VIS range using SCIL nanoimprint technology Enthalten in Applied nanoscience 29.5.2018: 1-11
	7	Multifunctional guest–host particles engineered by reversal nanoimprint lithography Enthalten in Applied nanoscience 20.3.2018: 1-9
	8	3D nanoimprint for NIR Fabry-Pérot filter arrays: fabrication, characterization and comparison of different cavity designs Enthalten in Applied nanoscience 24.2.2016: 1-9
	9	Nanotechnologie Erlangen : Verl. für Wiss. und Leben Heidecker, 2004
	10	Der Transistor Hillmer, Hartmut. - Erlangen : Verl. für Wiss. und Leben Heidecker, 2000

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