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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mikrostrukturierung von porösem Silicium für optische und optoelektronische Anwendungen / vorgelegt von Michael Krüger
Person(en) Krüger, Michael (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1998
Umfang/Format XII, 138 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1998
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Poröser Stoff ; Ionenstrahlätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie>
Silicium ; Poröser Stoff ; Lumineszenzdiode ; Photodiode ; Interferenzfilter ; Lichtwellenleiter
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie ; 37 Elektrotechnik

Frankfurt Signatur: H 1998 B 2828
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: H 1998 B 2828
Bereitstellung in Leipzig




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