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Ergebnis der Suche nach: tit all "Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium: Merkmale und Mikrostruktur und deren Deutung im Sinne von Wachstumsvorgängen"



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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium: Merkmale und Mikrostruktur und deren Deutung im Sinne von Wachstumsvorgängen / Lothar Houben. [Forschungszentrum Jülich, Institut für Schicht- und Ionentechnik]
Person(en) Houben, Lothar (Verfasser)
Verlag Jülich : Forschungszentrum, Zentralbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1999
Umfang/Format X, 138 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Hochschulschrift Zugl.: Düsseldorf, Univ., Diss., 1999
ISBN/Einband/Preis kart.
Identifikationsnummern Reportnummer: Jül 3753
Beziehungen Forschungszentrum Jülich: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 3753
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie

Frankfurt Signatur: 2000 B 11720
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2000 B 11720
Bereitstellung in Leipzig




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