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Ergebnis der Suche nach: tit all "Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von Multifunktionsschichten aus dem Precursorensystem Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff"

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Art des Inhalts	Hochschulschrift
Titel	Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PE-CVD) von Multifunktionsschichten aus dem Precursorensystem Hexamethyldisiloxan/Sauerstoff / Maximilian Paul Baier ; Betreuer: Thomas Hirth
Person(en)	Baier, Maximilian Paul (Verfasser) Hirth, Thomas (Akademischer Betreuer)
Verlag	Stuttgart : Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2016
Umfang/Format	Online-Ressource
Hochschulschrift	Dissertation, Stuttgart, Universität Stuttgart, 2015
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-ds-87897 DOI: 10.18419/opus-8772
URL	(kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Deutsch (ger)
Schlagwörter	Beschichtung ; Plasma Plasma* ; Beschichten* ; Gasphase* ; Ausgangsmaterial* ; Permeation* ; Hexamethyldisiloxan* ; Gas* ; HDPE* ; Chemischer Reaktor* ; Abscheider* ; Teilchen* ; Hartstoff* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n)	530 Physik

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