Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Am Dienstag, den 11.06.2024 ist die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt am Main wegen eines Betriebsausflugs geschlossen.

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im Bestand: Gesamter Bestand

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	1	3D-micro- and nanometrology Bremerhaven : Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss., 2011
	2	Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm Käsmaier, Rainer, 2000

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