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	1	Strukturintegration piezoelektrischer Vielschichtaktoren mittels selektiven Laserschmelzens Stoffregen, Hanns Alexander. - Aachen : Shaker Verlag, 2015
	2	Ultrapräzise Diamantbearbeitung nitrocarburierter Stähle für die Formeinsatzherstellung Osmer, Jens. - Aachen : Shaker, 2015
	3	Zuverlässigkeitsuntersuchungen und Lebensdauerprognose am Beispiel feinwerktechnischer Antriebe Bobrowski, Sebastian. - Stuttgart : IKFF, 2015
	4	Piezoelektrische Vielschichtaktoren mit kupferbasierten Innenelektroden Denneler, Stefan. - Aachen : Shaker, 2012
	5	Entwicklung und Erprobung einer neuen Vorschubeinheit für kleine Werkzeugmaschinen Kohrs, Peter. - Aachen : Shaker, 2011
	6	Prozessketten zur Erzeugung geometrisch unterschiedlicher mikrofluidischer Strukturen aus Kunststoff Storch, Reinhold. - Tönning : Der Andere Verl., 2011
	7	Grundlegende Untersuchungen zu vertikalen Positioniersystemen für Nanopräzisionsmaschinen Hackel, Tobias. - Münster : Verl.-Haus Monsenstein und Vannerdat, 2010
	8	Statistische Prozessregelung von Fertigungs- und Messprozess zur Erreichung einer variabilitätsarmen Produktion mikromechanischer Bauteile Schlipf, Matthias. - Aachen : Shaker, 2009
	9	Fabrication of polymer micro devices by ultrasonic hot embossing Khuntontong, Puttachat, 2008
	10	Technologien und Applikationen der UV-Tiefenlithographie: Mikroaktorik, Mikrosensorik und Mikrofluidik Feldmann, Marco. - Aachen : Shaker, 2007

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