Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: tit all "Elemente der integrierten Optik"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/949234605 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Photolithographie mit semitransparenten Masken : Entwicklung einer Methode zur photolithographischen Erzeugung reliefartiger Strukturen für Elemente der integrierten Optik / Jörg Wengelink |
| Person(en) | Wengelink, Jörg (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Göttingen : Cuvillier |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1996 |
| Umfang/Format | XII, 120 S. : graph. Darst. ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 1996 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-89588-682-9 kart. : DM 48.00, sfr 48.00, S 336.00 3-89588-682-3 kart. : DM 48.00, sfr 48.00, S 336.00 |
| Schlagwörter | Wellenleitertaper ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Maskentechnik |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1997 A 10595
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1997 A 10595
Bereitstellung in Leipzig |
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