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	1	Halbleiter-Technologie Beneking, Heinz. - Stuttgart : Teubner, 1991
	2	Mehrlagen-Resistsysteme für optische- und Elektronenstrahl-Lithographie Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1986
	3	Herstellung und Untersuchung von Galliumarsenid-Einkristallen Beneking, Heinz. - Opladen : Westdeutscher Verlag, 1974
	4	Feldeffekttransistoren Beneking, Heinz. - Berlin, Heidelberg, New York : Springer, 1973
	5	Untersuchungen über integrierte Kettenverstärker Beneking, Heinz. - Opladen : Westdeutscher Verlag, 1973
	6	Hütte / Physikhütte 1971, 29., neubearb. Aufl.
	7	Hütte, des Ingenieurs Taschenbuch / Physikhütte / Bd. 2. Atomphysik, Elektrodynamik, Optik, Akustik, Thermodynamik / [Mitarb.: H. Beneking u. a.]. 1971, 29., neubearb. Aufl.
	8	Praxis des elektronischen Rauschens Beneking, Heinz. - Mannheim : Bibliographisches Inst., 1971
	9	Untersuchung eines technologischen Verfahrens zur Herstellung von Laserdioden Beneking, Heinz. - München : Zentralstelle f. Luftfahrtdokumentation u. -information, 1970, Als Ms. gedr.
	10	Moderne Halbleiter-Technik Essen : Vulkan-Verl. Classen, 1969

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