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	1	Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100) Stauffenberg, Jaqueline. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2024
	2	3D-micro- and nanometrology Leipzig : Deutsche Nationalbibliothek, 2022
	3	Differentielle Laser-Doppler-Vibrometrie für kleinste Auslenkungen für Frequenzen unterhalb von 10 Hz Schewe, Marvin. - Clausthal-Zellerfeld : Technische Universität Clausthal, 2022
	4	Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop Wu, Yiting. - Erlangen : FAU University Press, 2022
	5	Entwicklung und Charakterisierung von nanostrukturierten thermischen MEMS-Flusssensoren Ebschke, Sven. - Dortmund : Universitätsbibliothek Dortmund, 2021
	6	Hochfrequent fokusabstandsmodulierte Konfokalsensoren für die Nanokoordinatenmesstechnik Gröschl, Andreas. - Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2021
	7	Grundlegende Untersuchungen zum konstruktiven Aufbau von Fünfachs-Nanopositionier- und Nanomessmaschinen Schienbein, Ralf. - Ilmenau : Universitätsverlag Ilmenau, 2020
	8	Micro and Nano Scale NMR Weinheim : Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2018, 1. Auflage
	9	Thermal Joining based on Reactive Multilayered Nanofoils Theodossiadis, Georgios Dimitrios. - München : Herbert Utz Verlag, 2018, 1. Erstauflage
	10	QUANOMET Enthalten in Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover: Unimagazin 3/4 (2018)

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