Soft UV nanoimprint lithography : concept, development, and fabrication of nanostructures with tunable feature sizes at constant pitch

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1178128717
Titel	Soft UV nanoimprint lithography : concept, development, and fabrication of nanostructures with tunable feature sizes at constant pitch / Shuhao Si ; Gutachter: Stefan Sinzinger, Hartmut Hillmer ; Betreuer: Martin Hoffmann
Person(en)	Si, Shuhao (Verfasser) Hoffmann, Martin (Akademischer Betreuer) Sinzinger, Stefan (Gutachter) Hillmer, Hartmut (Gutachter)
Verlag	Ilmenau : TU Ilmenau
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format	Online-Ressource
Hochschulschrift	Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2018
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2018000239
URL	https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00035151 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Schlagwörter	Nanoimprint lithography* ; Pitch* ; Nanostructures* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n)	620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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