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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1176358308
Titel	10 Years of Teaching and Research, 5 Years of Clean Room Operation, Report 1991-2001
Person(en)	Büttgenbach, S. (Herausgeber)
Organisation(en)	Technische Universität Braunschweig. Institut für Mikrotechnik (Herausgebendes Organ)
Verlag	Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format	Online-Ressource, 97 Seiten : 104 Abb. (pdf)
Andere Ausgabe(n)	Erscheint auch als Druck-Ausgabe: 10 years of teaching and research, 5 years of clean room operation
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:101:1-2019012707020989971665
ISBN/Einband/Preis	978-3-8322-0283-5
Sprache(n)	Englisch (eng)
Beziehungen	Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 7
Anmerkungen	Lizenzpflichtig
Schlagwörter	Mikrosystemtechnik Reinraumtechnik

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