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"Robert" and "Gerlich"
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1
Organosilane Downstream Plasma On Ultra Low-k Dielectrics: Comparing Repair With Post Etch Treatment
Calvo, Jesús. - Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2016
2
Liber amicorum
Gerlich, Thomas. - Berlin : Freie Universität Berlin, 2012
3
Thermal ALD of Cu via Reduction of CuxO films for the Advanced Metallization in Spintronic and ULSI Interconnect Systems
Mueller, Steve. - Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz, 2012
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