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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4191584-7
Sachbegriff Lithografie <Halbleitertechnologie>
Quelle B 1986
Spektrum Lex. Physik als Lithographie.
Erläuterungen Verwendungshinweis: Für die Strukturierung aller Arten von Oberflächen (nicht nur von Halbleitern) mittels gebündelter Strahlen.
Synonyme Lithographie <Halbleitertechnologie>
Halbleiter / Lithografie
Mikrolithographie
Mikrolithografie
Mikrostrukturierung <Halbleitertechnologie>
Microlithography
Thematischer Bezug Verwandter Begriff: Lithografieoptik
DDC-Notation 621.38152
621.381531
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Microlithography
RAMEAU: Microlithographie
Untergeordnet 8 Datensätze
  1. Elektronenstrahllithografie
    Lithografie <Halbleitertechnologie>
  2. EUV-Lithografie
    Lithografie <Halbleitertechnologie>
  3. ...
Thema in 78 Publikationen
  1. Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100)
    Stauffenberg, Jaqueline. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2024
  2. Plasma based 2.5D+ micro and nanostructuring for whispering gallery mode resonators
    Behrens, Arne. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2024
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 13 Publikationen
  1. Gast-Partikel in mikroskaligen, dreidimensionalen Wirts-Partikeln: Herstellung durch Nanoimprintlithographie und ihre Charakterisierung
    Ha, Uh-Myong. - Kassel : Universitätsbibliothek Kassel, 2020
  2. Innovative Beleuchtung für neuartige Abbildungs- und Lithographiesysteme
    Cao, Xinrui. - Ilmenau : TU Ilmenau, 2020
  3. ...





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