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Sachbegriffe
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/gnd/4267316-1
Sachbegriff PECVD-Verfahren
Quelle Lex. Elektronik Mikroelektronik unter Schichtabscheidung
Synonyme Plasma Enhanced CVD-Verfahren
PACVD-Verfahren
Plasmaaktiviertes CVD-Verfahren
Oberbegriffe CVD-Verfahren
Plasmaabscheidung
DDC-Notation 671.735
Systematik 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik ; 31.10 Verfahrenstechnik, Technische Chemie ; 31.8a Fertigungstechnik
Andere Normdaten LCSH: Plasma-enhanced chemical vapor deposition
RAMEAU: Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma
Untergeordnet 1 Datensatz
  1. LEPECVD-Verfahren
    PECVD-Verfahren
Thema in 251 Publikationen
  1. Analyse der Porenstrukturen in nanostrukturierten Funktionsschichten auf Kunststoffen und Modellierung des porengesteuerten Stofftransports
    Wilski, Stefan. - Aachen : Verlagsgruppe Mainz GmbH Aachen, 2023, 1. Auflage
  2. Plasmapolymerisierte Barriere- und Korrosionsschutzschichten für PET-Mehrwegflaschen durch Schichtentwicklung und Prozesstransfer für den industriellen Einsatz
    Jaritz, Montgomery. - Aachen : Verlagsgruppe Mainz GmbH, 2022
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 15 Publikationen
  1. Biokompatibilität und antimikrobielle Wirkung von kaltem atmosphärischem Plasma
    Fink, Sarah. - Jena : Friedrich-Schiller-Universität Jena, 2023
  2. Development of industry-scalable processes for nanocrystalline silicon oxide in silicon heterojunction solar cells
    Qiu, Depeng. - Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2023
  3. ...





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