Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=972279490
Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/972279490 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie / von Ingo Busch |
Person(en) | Busch, Ingo (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,2 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Röntgenreflektometrie und diffuse Röntgenstreuung zur Charakterisierung von Grenzflächenrauheiten und Grenzflächenmorphologien im Bereich der Nanometrologie |
Hochschulschrift | Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2004 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:084-6155 |
URL | http://opus.tu-bs.de/opus/volltexte/2004/615/index.html (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
Anmerkungen | Dateien im PDF-Format |
Schlagwörter |
Reflektometrie ; Röntgenstrahlung ; Dickenmessung ; Dünnschichttechnik ; Nanometerbereich Röntgenstreuung ; Diffuse Streuung ; Mehrschichtsystem ; Grenzfläche ; Oberflächenanalyse ; Nanometerbereich |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |