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			1 | 
		
			
									
						Halbleiter-Technologie Beneking, Heinz. - Stuttgart : Teubner, 1991
					
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						Mehrlagen-Resistsysteme für optische- und Elektronenstrahl-Lithographie Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe, 1986
					
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			3 | 
		
			
									
						Herstellung und Untersuchung von Galliumarsenid-Einkristallen Beneking, Heinz. - Opladen : Westdeutscher Verlag, 1974
					
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			4 | 
		
			
									
						Feldeffekttransistoren Beneking, Heinz. - Berlin, Heidelberg, New York : Springer, 1973
					
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			5 | 
		
			
									
						Untersuchungen über integrierte Kettenverstärker Beneking, Heinz. - Opladen : Westdeutscher Verlag, 1973
					
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			6 | 
		
			
									
						Hütte / Physikhütte 1971, 29., neubearb. Aufl.
					
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			7 | 
		
			
									
						Hütte, des Ingenieurs Taschenbuch / Physikhütte / Bd. 2. Atomphysik, Elektrodynamik, Optik, Akustik, Thermodynamik / [Mitarb.: H. Beneking u. a.]. 1971, 29., neubearb. Aufl.
					
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			8 | 
		
			
									
						Praxis des elektronischen Rauschens Beneking, Heinz. - Mannheim : Bibliographisches Inst., 1971
					
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			9 | 
		
			
									
						Untersuchung eines technologischen Verfahrens zur Herstellung von Laserdioden Beneking, Heinz. - München : Zentralstelle f. Luftfahrtdokumentation u. -information, 1970, Als Ms. gedr.
					
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			10 | 
		
			
									
						Moderne Halbleiter-Technik Essen : Vulkan-Verl. Classen, 1969
					
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