Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Die Deutsche Nationalbibliothek in Frankfurt am Main ist an Fronleichnam, Donnerstag, 4. Juni 2026 geschlossen. // The German National Library in Frankfurt am Main will be closed on Thursday, 4 June 2026 due to a public holiday (Fronleichnam).
 
Neuigkeiten Mittwoch, den 10. Juni 2026 öffnen die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig erst ab 13 Uhr. // On Wednesday 10 June 2026 The German National Library in Leipzig will not open until 13:00.
 
 

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Titel Development of core technologies on EUV mask and resist for sub-20-nm half pitch generation
Person(en) Inoue, Soichi (Verfasser)
Amano, Tsuyoshi (Verfasser)
Itani, Toshiro (Verfasser)
Watanabe, Hidehiro (Verfasser)
Mori, Ichiro (Verfasser)
Watanabe, Takeo (Verfasser)
Kinoshita, Hiroo (Verfasser)
Miyai, Hiroki (Verfasser)
Hatakeyama, Masahiro (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405061618390.658947089038
DOI: 10.1515/aot-2012-0029
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.09.2012
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced Optical Technologies (Bd. 1, 2012, Nr. 4: 269-278)

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