Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: idn=1329585283
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1329585283 |
| Titel | Virtual metrology for chemical mechanical planarization of semiconductor wafers / by Balamurugan Deivendran, Vishnu Swaroopji Masampally, Naga Ravikumar Varma Nadimpalli, Venkataramana Runkana |
| Person(en) |
Deivendran, Balamurugan (Verfasser) Masampally, Vishnu Swaroopji (Verfasser) Nadimpalli, Naga Ravikumar Varma (Verfasser) Runkana, Venkataramana (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | 1 Online-Ressource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2405152124253.047750040640 DOI: 10.1007/s10845-024-02335-0 |
| URL | https://doi.org/10.1007/s10845-024-02335-0 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Journal of intelligent manufacturing (13.3.2024: 1-20) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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