Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Ulk" sortBy jhr/sort.ascending
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1297310012 |
| Titel | Evaluation of ellipsometric porosimetry for in‐line characterization of ultra low‐κ dielectrics |
| Person(en) |
Licitra, C. (Verfasser) Bertin, F. (Verfasser) Darnon, M. (Verfasser) Chevolleau, T. (Verfasser) Guedj, C. (Verfasser) Cetre, S. (Verfasser) Fontaine, H. (Verfasser) Zenasni, A. (Verfasser) Chapelon, L. L. (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023072606205589797120 DOI: 10.1002/pssc.200777776 |
| URL | https://doi.org/10.1002/pssc.200777776 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 20.02.2008 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Physica status solidi / C / Current topics in solid state physics (Bd. 5, 2008, Nr. 5: 1278-1282. 5 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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