Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/901513725 |
Titel | Halbleiter-Technologie : eine Einführung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen / von Heinz Beneking |
Person(en) | Beneking, Heinz (Verfasser) |
Verlag | Stuttgart : Teubner |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1991 |
Umfang/Format | IX, 812 S. : graph. Darst. ; 23 cm |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-519-06133-5 Pp. : DM 98.00 3-519-06133-3 Pp. : DM 98.00 |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Anmerkungen |
Literaturangaben Status nach VGG: vergriffen |
Schlagwörter |
Silicium ; Halbleitertechnologie Drei-Fünf-Halbleiter ; Halbleitertechnologie |
Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: D 91/4358
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 1991 A 3011
Bereitstellung in Leipzig |
