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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/942707729 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung und Optimierung von Prozesskomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren : mit 7 Tabellen / Walter Olbrich |
| Person(en) | Olbrich, Walter (Verfasser) |
| Verlag | Berlin ; Heidelberg ; New York ; London ; Paris ; Tokyo ; Hong Kong ; Barcelona ; Budapest : Springer |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1994 |
| Umfang/Format | 124 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren |
| Hochschulschrift | Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1994 |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-540-58511-4 (Berlin ...) kart. : DM 88.00 3-540-58511-7 (Berlin ...) kart. : DM 88.00 978-0-387-58511-6 (New York ...) kart. 0-387-58511-7 (New York ...) kart. |
| Beziehungen | Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung: IPA-IAO-Forschung und Praxis ; Bd. 202 |
| Anmerkungen | Status nach VGG: lieferbar |
| Schlagwörter | PVD-Verfahren ; Prozessoptimierung ; Ionenbestrahlung |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 1994 A 77619 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 1994 A 77619 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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