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Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1364513056
Titel High-resolution coherence scanning immersion interferometry for characterization of sub-micrometer surface structures
Person(en) Stelter, Andre (Verfasser)
Käkel, Eireen (Verfasser)
Hillmer, Hartmut (Verfasser)
Lehmann, Peter (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2505040348482.426613491691
DOI: 10.1515/teme-2025-0011
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 08.04.2025
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Technisches Messen (Bd. 92, 2025, Nr. 5: 168-178. 11 S.)

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