Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1196111006 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Roentgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trennduesenelemente / E.W. Becker, W. Ehrfeld, D. Muenchmeyer |
| Person(en) |
Becker, Erwin W. (Verfasser) Ehrfeld, Wolfgang (Verfasser) Muenchmeyer, D. (Verfasser) |
| Verlag | Karlsruhe : KIT-Bibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Becker, Erwin W.: Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente |
| Hochschulschrift | Dissertation, Karlsruhe, Universität Karlsruhe, 1984, Dissertation von D. Münchmeyer |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2019100108490207715067 DOI: 10.5445/IR/200019885 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | KFK-3732 |
| Schlagwörter | Synchrotronstrahlung* ; Herstellung* ; Siliconkautschuk* ; Geräteentwicklung* ; Prüfstand* ; Reaktionskinetik* ; Finite-Elemente-Methode* ; Simulation* ; Röntgenlithografie* ; Pulverherstellung* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 539.722 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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