Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1321496273 |
Titel | Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching / Prabowo Puranto |
Person(en) | Puranto, Prabowo (Verfasser) |
Organisation(en) | Verlag Dr. Hut (München) (Verlag) |
Verlag | München : Verlag Dr. Hut |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
Umfang/Format | Online-Ressource, 198 Seiten |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching |
Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2022 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2024022310545803893575 |
URL | http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-5407-5.html (Verlag) |
ISBN/Einband/Preis | 978-3-8439-5407-5 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | Elektrotechnik |
Anmerkungen | Vom Verlag als Druckwerk on demand und/oder als E-Book angeboten |
Schlagwörter | Nanometerbereich* ; Silicium* ; Härteeindruck* ; Messung* ; Rauigkeit* (*maschinell ermittelt) |
DDC-Notation | 620.192 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |