Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1321496273 |
| Titel | Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching / Prabowo Puranto |
| Person(en) | Puranto, Prabowo (Verfasser) |
| Organisation(en) | Verlag Dr. Hut (München) (Verlag) |
| Verlag | München : Verlag Dr. Hut |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 198 Seiten |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching |
| Hochschulschrift | Dissertation, Technische Universität Braunschweig, 2022 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2024022310545803893575 |
| URL | http://www.dr.hut-verlag.de/978-3-8439-5407-5.html (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8439-5407-5 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Elektrotechnik |
| Anmerkungen | Vom Verlag als Druckwerk on demand und/oder als E-Book angeboten |
| Schlagwörter | Nanometerbereich* ; Silicium* ; Härteeindruck* ; Messung* ; Rauigkeit* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 620.192 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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