Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
Neuigkeiten 24. Dezember 2025 bis 1. Januar 2026: Die Deutsche Nationalbibliothek bleibt an beiden Standorten geschlossen. Bestellte Medien werden am 2. Januar 2026 bereitgestellt. // 24 December 2025 to 1 January 2026: The German National Library will be closed at both locations. Ordered media will be made available on 2 January 2026.
 
 

Ergebnis der Suche nach: "110330889"

Zurück zur Trefferliste


Treffer 1 von 2 < < > <



Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/840905742
Titel Entwicklung und Untersuchung empfindlicher und prozesskompatibler Polymere für die Röntgenlithographie / von Frithjof Asmussen ; Hideto Sotobayashi ; Wolfram Schnabel. Bundesministerium für Forschung u. Technologie. [Durchführende Inst. Fritz-Haber-Inst. d. Max-Planck-Ges.]
Person(en) Asmussen, Frithjof (Verfasser)
Sotobayashi, Hideto (Verfasser)
Schnabel, Wolfram (Verfasser)
Verlag Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1983
Umfang/Format 59 S. : 20 Ill. u. graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis kart. : DM 12.50 (zuzügl. Mehrwertsteuer)
Identifikationsnummern Reportnummer: BMFT-FB-T 83-122
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Technologische Forschung und Entwicklung, Elektronik
Anmerkungen Als Ms. gedr. - Literaturverz. S. 57 - 59
Status nach VGG: vergriffen
Schlagwörter Röntgenlithographie ; Röntgenlack ; Synchrotronstrahlung ; Polymer
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: D 83b/5151
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: SB 7078 - T,83,122
Bereitstellung in Leipzig




Treffer 1 von 2
< < > <




Aktionen

Aktionen




E-Mail-IconAdministration