Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/959238603 |
| Titel | Mechanical microsensors / M. Elwenspoek ; R. Wiegerink |
| Person(en) |
Elwenspoek, Miko (Verfasser) Wiegerink, Remco J. (Verfasser) |
| Verlag | Berlin ; Heidelberg ; New York ; Barcelona ; Hong Kong ; London ; Milan ; Paris ; Singapore ; Tokyo : Springer |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | X, 295 S. : Ill., graph. Darst. ; 24 cm |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Elwenspoek, Miko: Mechanical Microsensors |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-540-67582-2 Pp. : DM 129.00 3-540-67582-5 Pp. : DM 129.00 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen |
Microtechnology and MEMS Physics and astronomy online library |
| Anmerkungen | Literaturverz. S. 274 - 290 |
| Schlagwörter | Mikrosensor ; Siliciumsensor ; Mikromechanik ; Halbleitertechnologie |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik ; 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2001 A 3554 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2001 A 3554 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
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