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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/129802885X
Titel Synthesis of Metal Oxide Thin Films by Reactive Magnetron Sputtering in Ar/O 2 Mixtures: An Experimental Study of the Chemical Mechanisms
Person(en) Snyders, Rony (Verfasser)
Dauchot, Jean‐Pierre (Verfasser)
Hecq, Michel (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023080213200618576871
DOI: 10.1002/ppap.200600103
URL https://doi.org/10.1002/ppap.200600103
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 26.02.2007
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Plasma processes and polymers (Bd. 4, 2007, Nr. 2: 113-126. 14 S.)

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