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Titel Charakterisierung der dielektrischen Barrierenentladung von Mikroplasmaaktuatoren in Abhängigkeit der Substratdicke / Theodor Silberbauer, Matthias Lindner, Rupert Schreiner
Person(en) Silberbauer, Theodor (Verfasser)
Lindner, Matthias (Verfasser)
Schreiner, Rupert (Verfasser)
Verlag Landshut : Hochschule für Angewandte Wissenschaften Landshut
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2020
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:860-opus4-2130
URL https://opus4.kobv.de/opus4-haw-landshut/frontdoor/index/index/docId/213 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Anmerkungen In: Tagungsband 2. Symposium Elektronik und Systemintegration ESI 2020: "Intelligente Systeme und ihre Komponenten: Forschung und industrielle Anwendung", S. 64-72
Schlagwörter Substrat <Mikroelektronik>* ; Elektrode* ; Autonomes System* ; Dicke* ; Plasma* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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