Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1328386244 |
| Titel | Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100) / Jaqueline Stauffenberg ; Eberhard Manske, Jens-Peter Zöllner, Teodor Pawel Gotszalk |
| Person(en) |
Stauffenberg, Jaqueline (Verfasser) Manske, Eberhard (Akademischer Betreuer) Zöllner, Jens-Peter (Akademischer Betreuer) Gotszalk, Teodor Pawel (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Ilmenau : TU Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2024 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Ilmenau, TU Ilmenau, 2024 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2024000062 |
| URL | https://www.db-thueringen.de/receive/dbt_mods_00059668 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Fertigungsmesstechnik ; Nanometerbereich ; Nanostruktur ; Rasterkraftmikroskopie ; Lithografie <Halbleitertechnologie> Nanostruktur* ; Nanometerbereich* ; Rasterkraftmikroskopie* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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