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Titel Mehrlagen-Resistsysteme für optische- und Elektronenstrahl-Lithographie / Bundesministerium für Forschung u. Technologie. [Durchführende Inst. Inst. für Halbleitertechnik d. Rheinisch-Westfäl. Techn. Hochsch. Aachen]. Von Heinz Beneking ...
Person(en) Beneking, Heinz (Verfasser)
Organisation(en) RWTH Aachen. Lehrstuhl und Institut für Halbleitertechnik (Herausgebendes Organ)
Verlag Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1986
Umfang/Format 82 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis kart. (Pr. nicht mitget.)
Identifikationsnummern Reportnummer: BMFT-FB-T 86-045
Beziehungen Technologische Forschung und Entwicklung, Elektronik
Anmerkungen Literaturverz. S. 77 - 82. - Als Ms. gedr.
Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: D 86b/11835
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: SB 7078 - T,86,45
Bereitstellung in Leipzig




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