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Titel Fortschritte der Halbleitermeßtechnik und die Mikroelektronik : (Vortrag vor der Klasse Physik am 13. April 1989) / Joachim Auth
Person(en) Auth, Joachim (Verfasser)
Ausgabe Reprint 2024
Verlag Berlin/Boston : De Gruyter - De Gruyter
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1990
1990
Umfang/Format 1 Online-Ressource, 20 Seiten (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: ISBN: 978-3-11-272430-9
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2407131711378.340051838672
DOI: 10.1515/9783112724316
URL https://www.degruyter.com/ (Verlag)
https://www.degruyter.com/isbn/9783112724316 (Verlag)
https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783112724316/original (Verlag)
https://www.degruyter.com/isbn/9783112724316 (Verlag)
ISBN/Einband/Preis 978-3-11-272431-6
EAN 9783112724316
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Sitzungsberichte der Akademie der Wissenschaften der DDR/N. Mathematik, Naturwissenschaften, Technik ; 1990,3
Schlagwörter Halbleitermesstechnik ; Mikroelektronik
DDC-Notation 537.6226 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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