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Titel Target Utilization Improvement by Pole Pieces Insertion in a Magnetron Sputtering Target
Person(en) Nouvellon, Corinne (Verfasser)
Lefèvre, Patrick (Verfasser)
Dauchot, Jean‐Pierre (Verfasser)
Papantonio, Raffaele (Verfasser)
Hecq, Michel (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2023072804501178990169
DOI: 10.1002/ppap.200731503
URL https://doi.org/10.1002/ppap.200731503
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 24.05.2007
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Plasma processes and polymers (Bd. 4, 2007, Nr. S1, Supplement: Tenth International Conference on Plasma Surface Engineering (PSE2006) 1: S637-S639. 3 S.)

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