Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.8*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1090798989 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Line edge roughness in optical critical dimension metrology / vorgelegt von magister inżynier/TU Warschau Bartosz Bilski |
| Person(en) | Bilski, Bartosz (Verfasser) |
| Verlag | Stuttgart : Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2016 |
| Umfang/Format | xxix, 121 Seiten : Illustrationen ; 21 cm |
| Hochschulschrift | Dissertation, Universität Stuttgart, 2015 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-923560-80-6 Broschur |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Universität Stuttgart. Institut für Technische Optik: Berichte aus dem Institut für Technische Optik ; Nr. 81 |
| DDC-Notation | 530.81 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2016 A 39636
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2016 A 23233
Bereitstellung in Leipzig |
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