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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2006, Braunschweig
Titel SEM based dimensional metrology : in Braunschweig, Germany, December 12th & 13th, 2006 / Hrsg.: Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig und Berlin, Presse- und Öffentlichkeitsarbeit. Harald Bosse (ed.)
Person(en) Bosse, Harald (Mitwirkender)
Verlag Bremerhaven : Wirtschaftsverl. NW, Verl. für Neue Wiss.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2007
Umfang/Format 1 CD-ROM ; 12 cm, in Umschlag 13 x 13 cm
Systemvorauss. Win3x, Win9x, WinNT/2000/XP, Win 32s
ISBN/Einband/Preis 978-3-86509-647-0
Identifikationsnummern Reportnummer: PTB-F-52
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen PTB-Bericht / F / Fertigungsmesstechnik ; 52
Physikalisch-Technische Bundesanstalt: Vorträge des ... PTB-Seminars ; 223
Wissenschaftliche Veröffentlichungen / Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig
Anmerkungen Titel auf dem Umschlag
Schlagwörter Metrologie ; Rasterelektronenmikroskop ; Kongress ; Braunschweig <2006>
DDC-Notation 530.81 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2008 CRA 10830
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2008 CRA 3463
Bereitstellung in Leipzig




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