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Art des Inhalts Konferenzschrift, 2020, Online
Titel Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020 Online-Veranstaltung / Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
Person(en) Hoffmann, Martin (Herausgeber)
Organisation(en) GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (8. : 2020 : Online) (Verfasser)
VDE Verlag (Verlag)
VDE/VDI-GMM (Herausgebendes Organ)
Verlag Berlin ; Offenbach : VDE Verlag GmbH
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2020]
Umfang/Format 1 CD-ROM ; 58 g + 1 Blatt (2 ungezählte Seiten)
Andere Ausgabe(n) Digitale Übertragung 8.: GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration (8. : 2020 : Online): Mikro-Nano-Integration
ISBN/Einband/Preis 978-3-8007-5326-0 : EUR 51.00 (DE), EUR 51.00 (AT)
3-8007-5326-X
EAN 9783800753260
Sprache(n) Deutsch (ger), Englisch (eng)
Beziehungen Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 97
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Nanotechnologie
DDC-Notation 621 [DDC23ger]; 620.5 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Frankfurt Signatur: 2020 CRA 3956
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2020 DT 3453
Bereitstellung in Leipzig




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