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Artikel
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1329348702
Titel Low‐Temperature Nanosecond Laser Process of HZO‐IGZO FeFETs toward Monolithic 3D System on Chip Integration
Person(en) Kim, Dongsu (Verfasser)
Jeong, Heejae (Verfasser)
Pyo, Goeun (Verfasser)
Heo, Su Jin (Verfasser)
Baik, Seunghun (Verfasser)
Kim, Seonhyoung (Verfasser)
Choi, Hong Soo (Verfasser)
Kwon, Hyuk‐Jun (Verfasser)
Jang, Jae Eun (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2405141415494.792812043284
DOI: 10.1002/advs.202401250
URL https://doi.org/10.1002/advs.202401250
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 13.05.2024
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Advanced science (13.05.2024. 13 S.)

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