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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1316169952
Titel Monte Carlo simulation of a control for cathodic sputtering
Person(en) Mohnke, Andreas (Verfasser)
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2024011706081547767748
DOI: 10.1002/vipr.2230030311
URL https://doi.org/10.1002/vipr.2230030311
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 29.09.2010
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Vakuum in Forschung und Praxis (Bd. 3, 2010, Nr. 3: 222-226. 5 S.)

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