Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/96392916X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Störungssystematikbestimmte Instandhaltung in einem Wafertransportsystem / Torsten Niekisch. Technische Universität Dresden, IPT, Institut für Produktionstechnik, Professur Fertigungsmeßtechnik und Qualitätssicherung |
| Person(en) | Niekisch, Torsten (Verfasser) |
| Verlag | Dresden : IPT, Professur Fertigungstechnik und Qualitätssicherung |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2001 |
| Umfang/Format | 102, XIII S. : graph. Darst. ; 21 cm + 1 CD-ROM |
| Hochschulschrift | Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2001 |
| ISBN/Einband/Preis | kart. |
| Schlagwörter | Infineon Technologies AG ; Wafer ; Transportsystem ; Schwachstellenanalyse ; Instandhaltung |
| Sachgruppe(n) | 36 Energie-, Maschinen-, Fertigungstechnik ; 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: 2002 A 13116
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: 2002 A 13116
Bereitstellung in Leipzig |
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