Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1075875714 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Temperature measurement during millisecond annealing : ripple pyrometry for flash lamp annealers / Denise Reichel ; with a preface by Dr.-Ing. Wolfgang Skorupa |
Person(en) | Reichel, Denise (Verfasser) |
Organisation(en) | Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag) |
Werk(e) | Ripple pyrometry during millisecond annealing on shallow Boron-doped Silicon wafers |
Verlag | Wiesbaden : Springer |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2015] |
Umfang/Format | XXV, 112 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 21 cm |
Andere Ausgabe(n) |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: ISBN: 9783658113889 Erscheint auch als Online-Ausgabe: Reichel, Denise: Temperature Measurement during Millisecond Annealing |
Hochschulschrift | Dissertation, TU Bergakademie Freiberg, 2015 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-658-11387-2 Broschur : ca. EUR 69.99 (DE) (freier Pr.), ca. EUR 71.95 (AT) (freier Pr.), ca. sfr 74.00 (freier Pr.), ca. EUR 69.33 (NL) (freier Pr.), ca. EUR 68.03 (IT) (freier Pr.), ca. EUR 69.01 (FR) (freier Pr.) 3-658-11387-1 |
Bestellnummer(n) | 978-3-658-11387-2 |
EAN | 9783658113872 |
Sprache(n) | Englisch (eng) |
Beziehungen | MatWerk |
Schlagwörter | Wafer ; Silicium ; Bor ; Dotierung ; Substrat <Mikroelektronik> ; Rapid thermal processing ; Blitzlampe ; Pyrometrie ; Thermomechanische Eigenschaft |
DDC-Notation | 621.381520153652 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 530 Physik |
Weiterführende Informationen |
Inhaltstext Inhaltsverzeichnis |
Frankfurt |
Signatur: 2016 A 52010 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2016 A 64362 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
