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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Temperature measurement during millisecond annealing : ripple pyrometry for flash lamp annealers / Denise Reichel ; with a preface by Dr.-Ing. Wolfgang Skorupa
Person(en) Reichel, Denise (Verfasser)
Organisation(en) Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
Werk(e) Ripple pyrometry during millisecond annealing on shallow Boron-doped Silicon wafers
Verlag Wiesbaden : Springer
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2015]
Umfang/Format XXV, 112 Seiten : Illustrationen, Diagramme ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: ISBN: 9783658113889
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Reichel, Denise: Temperature Measurement during Millisecond Annealing
Hochschulschrift Dissertation, TU Bergakademie Freiberg, 2015
ISBN/Einband/Preis 978-3-658-11387-2 Broschur : ca. EUR 69.99 (DE) (freier Pr.), ca. EUR 71.95 (AT) (freier Pr.), ca. sfr 74.00 (freier Pr.), ca. EUR 69.33 (NL) (freier Pr.), ca. EUR 68.03 (IT) (freier Pr.), ca. EUR 69.01 (FR) (freier Pr.)
3-658-11387-1
Bestellnummer(n) 978-3-658-11387-2
EAN 9783658113872
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen MatWerk
Schlagwörter Wafer ; Silicium ; Bor ; Dotierung ; Substrat <Mikroelektronik> ; Rapid thermal processing ; Blitzlampe ; Pyrometrie ; Thermomechanische Eigenschaft
DDC-Notation 621.381520153652 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 530 Physik
Weiterführende Informationen Inhaltstext
Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2016 A 52010
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2016 A 64362
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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