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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1056976926
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Neue Membransensoren mit porösem Silizium / Kathrin Gutsche. [Universitas Saraviensis ...]
Person(en) Gutsche, Kathrin (Verfasser)
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format 132 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm, 198 g
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Gutsche, Kathrin: Neue Membransensoren mit porösem Silizium
Hochschulschrift Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2013
ISBN/Einband/Preis 978-3-8440-3044-0 kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 57.25 (freier Pr.)
EAN 9783844030440
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Aktuelle Berichte aus der Mikrosystemtechnik ; Bd. 26
Schlagwörter Siliciumsensor ; Drucksensor ; Kapazitiver Sensor ; Technische Membran ; Herstellung ; Silicium ; Poröser Stoff ; Epitaxieschicht
DDC-Notation 681.2 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis
Inhaltstext

Frankfurt Signatur: 2014 A 82764
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2014 A 91911
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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